
일본 정부의 반도체 소재 한국 수출규제에 대응해 삼성전자가 벨기에 소재 업체서 일부 핵심소재를 조달하고 있는 것으로 알려졌다.
‘연합뉴스’에 따르면 일본 경제전문 매체 '닛케이 아시안 리뷰'는 11일 삼성 간부 출신인 한양대 박재근(반도체공학) 교수를 인용해 “삼성전자가 벨기에에 소재한 한 업체에서 포토레지스트(감광액)를 조달하고 있다”고 보도했다.
박 교수에 따르면 삼성전자는 이 화학물질을 6~10개월 단위 물량으로 구입 중이다. 이 화학물질은 최첨단 칩 제조 공정에서 실리콘 웨이퍼에 회로 패턴을 저장하는 데 사용한다.
박 교수는 벨기에 공급업체 이름을 공개하지 않았다. 하지만 이 매체는 일본 기업 JSR와 벨기에 연구센터 IMEC가 2016년 설립한 합작법인 EUV레지스트일 것으로 추정했다. 이 합작회사의 최대 주주는 JSR의 벨기에 자회사인 JSR마이크로다.
닛케이 아시안 리뷰는 “JSR 사정에 밝은 한 소식통이 일본 정부의 수출규제 조치가 발표된 후인 지난 7월 중순 ‘우리는 벨기에 합작법인을 통해 삼성에 포토레지스트를 공급할 것’이라고 말했다”며 “박 교수의 언급은 이 말을 뒷받침한다”고 보도했다.
이어 “다만 일본 기업이 제3국의 시설을 통해 한국에 규제 품목을 공급하는 것은 합법적이어야 한다”며 “일본 정부의 감시를 받을 수 있다”고 덧붙였다.
포토레지스트는 일본 경제산업성이 지난달 4일부터 한국에 대한 1차 수출규제를 시행한 이후 규제 대상이 된 3개 가운데 첫 번째로 허가가 나온 품목이다.
이광효 기자 leekwhyo@naver.com
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